適合潔凈室ESD的控制方法

日期：2025-12-27 23:13

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摘要：

因為靜電放電（ESD）對精密電路、磁盤的影響，電子行業面臨著巨大的挑戰。它們每年將會損失數十億美元。僅僅5V的電壓都可能損壞那些微小精密的組件，小于100V的電壓可能使整個電子電路報廢。

在受ESD影響的領域，潔凈室管理者們在生產線上都要考慮到由ESD引起的失效和損壞百分比。

然而，ESD控制材料又容易引起污染——靜電耗散材料是潔凈室中塵粒和化學污染的一個主要來源。為對ESD進行控制，潔凈室內的物品都是由靜電耗散材料組成，能阻止ESD和靜電吸引。選擇適合潔凈室的防靜電用品是個很大的挑戰。

然而，ESD的解決方案比尋找靜電耗散材料更復雜。因此，****了一套ESD控制程序。

可用技術

在潔凈室中可采用為靜電耗散設計的產品：棉簽、擦拭布、膠水、布料、墻壁材料、手腕帶、手套、工衣等。然而，靜電耗散材料也可能產生污染，很多由塑料或不銹鋼制作的潔凈室產品可能積聚或傳導電量。

“對產品和設備的ESD性能和污染控制給予同樣的關注，潔凈室中的服裝和材料*好用靜電耗散材料制作，并可以接地。”非硅晶行業的領頭者RussMoulton這樣認為。

其它的行業，尤其是在磁頭驅動行業，采用了更多的潔凈室防靜電材料。過去，磁頭驅動行業僅在IC(芯片、微芯片)的生產中采用ESD控制技術。但現在已經有更多的行業采用了ESD控制技術。

ESD產品的生產商對于開發新型的靜電耗散材料已經有了一定難度。IC的在變小，靜電敏感度也在增強。近三年，很多電子產商也開始要求更多的ESD產品。

找到合適的防靜電原材料有一定難度。掩光板由塑料制成，用很好的耐磨損性，低揮發物和耐化學性，是用于潔凈室的很好的材料。要找到很有透明度的原材料是困難的。添加劑和共聚物由于含有不同折射率的組成而使材料變成不透明的。而且，塑料必須具有很好的表面電阻。

靜電吸附

在潔凈室中因為存在靜電，使去除污染變得比較困難。塵粒由于靜電的作用總是容易粘到硅片上，導致產品損壞、優率降低。

我們*大的問題是要找到適合潔凈室使用的防靜電材料。在LCD行業，玻璃基板的變大，吸引電荷的能力也增強。由于基板的尺寸大，任何污染都可能導致優率降低。

與其它的污染控制行業一樣，LCD行業也一直在尋找能解決ESD問題的新型材料。在潔凈室使用的材料也更可能地使用防靜電材料，在棉簽和抹布上也可以嘗試發現新材料來代替傳統材料。

適合型

為什么潔凈室中沒有適合的ESD產品？在過去的3到5年里，廠商們在提供產品給潔凈室使用都時認識到，潔凈室中需要ESD產品。但是，尋找能用于潔凈室中的ESD產品是個問題。因為很多用于潔凈室的ESD產品的性能不夠穩定。

在潔凈室中ESD控制的*大難題是人員在潔凈室中的走動。因為人穿著大量的聚酯類織物，會產生大量的電荷。在潔凈室中去除這種電荷**的辦法是接地。

在過去的五年里，人們發現用碳素纖維和織物混合制成的工衣系統能提供適用ISO5（Class100）級的潔凈室要求。

此類工衣的各個部位都具有相同的電導率，并且從頭罩到腳底都有導電連接。在潔凈室中工作的人員穿上此類衣服行走時可以通過導電的鞋底接地而不用通過接地線進行接地，這樣就不受接地線的長度限制。

此類工衣的出現是對產品的高要求的結果，有助于降低潔凈室中由于ESD問題而引起的低收率和高壞品率。

對ESD控制沒有便宜快捷的修補方法，關鍵是對ESD的控制，比如懸掛層流離子風機，或是在需要控制ESD的材料旁安裝離子風機。隨著芯片（IC）尺寸的減少，對ESD越發敏感。現在，對ESD的控制已不僅僅局限于對工作網絡的保護，還需對晶片和生產晶片的人員進行控制。很多高標準要求的公司正在這樣對ESD進行控制。

不利因素

污染控制設備的生產商和工廠相關人員都發現，部分電器制造商并不清楚由于ESD而帶來的問題。這些問題也會給潔凈室帶來更多的污染。電器制造廠家忽視了這些問題。

*近，半導體光掩膜公司邀請靜電專家幫助解決優率問題.直到靜電專家到來，廠家才發現光掩膜上的異常是由于ESD引起的污染問題而造成的。在半導體生產中，*大的問題是掩光板上的ESD問題。它會引起微觀結構的破壞，從而導致產品失效。

在電子生產中，ESD產生各種各樣的問題。比如腐蝕或金屬熔化等。

靜電還會產生靜電吸附，將空氣中的塵粒吸附在產品，降低產品優率。

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